Fluocon® PFPE真空ポンプオイル（高真空および腐食性環境向け）
真空潤滑の最高峰
Fluocon® PFPE真空ポンプオイル：極限真空環境向け高性能潤滑剤
Fluocon® PFPE真空ポンプオイルは、究極の水素フリー潤滑ソリューションであり、要求の厳しい高真空用途向けに、超低蒸気圧と優れた熱酸化安定性を提供します。従来の鉱物油や合成油では対応できないシステム向けに特別に設計されたFluocon® Lシリーズ潤滑油は、堅牢な直鎖状パーフルオロポリエーテル骨格をベースとしています。水素原子を排除することで、この先進的な流体は業界で比類のない化学的不活性レベルを実現しています。半導体エッチングにおける腐食性ガス流の管理、航空宇宙研究における高信頼性真空シールの維持など、どのような用途においても、Fluocon® PFPE真空ポンプオイルは、炭化ゼロ、アウトガス最小化、長寿命を実現し、総所有コストを大幅に削減します。
高度な化学組成と 製造業
Fluocon® PFPE流体の優れた性能は、分子レベルから始まります。一般的な真空オイルとは異なり、当社のPFPEは炭素、フッ素、酸素のみで構成されるポリマー鎖です。この独自の水素を含まない構造は、高精度な重合プロセスによって実現され、ルイス酸や強力な酸化剤と反応しない流体となります。製造プロセスにより、分子量分布が厳密に管理され（1,850～4,300 AMU）、軽量のL2-06から堅牢なH4-40まで、様々なグレードで一貫した動粘度が得られます。この純度は、腐食性の高い化学環境下でポンプ故障の一般的な原因となる酸性副生成物やスラッジの生成を防ぐ上で非常に重要です。
多次元パフォーマンス 利点
Fluocon® PFPE真空ポンプオイルは、他社製品が妥協点しか提供できないような状況でも、真のソリューションを提供できるという点で際立っています。
- 超低蒸気圧：5×10という低い値で725℃におけるトル（torr）の圧力において、当社の流体は高真空システムにおける究極の全圧目標の達成を可能にします。
- 本来の不燃性：引火点や発火点がないこれらのオイルは、酸素濃度が高い環境や高温環境において、不可欠な安全マージンを提供します。
- 優れた材料適合性：Fluocon®は、ほとんどの金属、プラスチック、エラストマー、ゴムと全く反応しないため、Oリングやシールの完全性を保証します。
- 極めて高い耐熱性：200℃を超える連続運転温度でも熱分解に強く、オイル消費や堆積物の形成を防ぎます。
- 放射線および化学物質に対する耐性：放射線安定性と水性／非水性溶剤に対する耐性が必須となる原子力産業や化学処理産業に最適です。
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半導体・電子機器
エッチングガスやCVDガスを扱うロータリーポンプおよびターボ分子ポンプに不可欠です。
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工業用高真空
低い蒸発熱と高い誘電特性を必要とするルーツポンプおよび拡散ポンプ向けに最適化されています。
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化学・医薬品
高反応性試薬や溶剤にさらされるポンプに対し、信頼性の高いシール性能と潤滑性能を提供します。
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データセンターおよびラボ機器
質量分析計や高密度コンピューティングで使用される
| 用途（ポンプの種類） | L2-06 | L2-14 | L3-16 | L3-25 | L3-40 | L4-15 |
| ロータリーベーンポンプ（シールおよび潤滑） | ★ | ★ |
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| ターボ分子ポンプ（潤滑） | ★ |
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| ルーツポンプ（潤滑） |
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| 拡散ポンプ（作動流体） |
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テクニカル 仕様
| 物件 | 標準値 | |||||
| 学年 | L2-06 | L2-14 | L3-16 | L3-25 | H3-25 | H4-40 |
| 分子量（AMU） | 1,850 | 2,600 | 2,800 | 3,450 | 3,650 | 4,300 |
| 20℃における動粘度（cSt） | 65 | 150 | 163 | 260 | 275 | 463 |
| 粘度指数（ASTM D2270） | 72 | 98 | 105 | 110 | 118 | - |
| 流動点（℃）（ASTM D97） | -52 | -45 | -45 | -35 | -35 | -32 |
| 25℃における蒸気圧（トル） | 7x10⁻⁷ | 1x10⁻⁷ | 2x10⁻⁶ | 5x10⁻⁷ | - | - |
| 100℃における蒸気圧（トル） | 3x10⁻³ | 2x10⁻⁴ | 2x10⁻⁴ | 5x10⁻⁵ | - | - |
| 200℃における蒸発熱（cal/g） | 11 | 8 | 8 | 7 | 7 | 7 |
| 密度（20℃）（g/cm³） | 1.88 | 1.89 | 1.9 | 1.91 | 1.91 | 1.91 |
| 表面張力（ダイン/cm） | 21 | 22 | 22 | 22 | 20 | 20 |
| 蒸発損失（22時間、149℃）（重量％） | - | 4 | 3.5 | 0.8 | 0.5 | - |
| 蒸発損失（22時間、120℃）（重量％） | 4* | - | - | - | - | - |
| 最終全圧（トル） | 1.7×10⁻³ | 1.4×10⁻³ | 2.4×10⁻³ | 1.2×10⁻³ | - | - |
| 比燃料消費量（cm³/時） | 0.4 | 0.6 | 0.5 | 0.7 | - | - |