極めて高い熱酸化安定性を有する不燃性誘電性PFPE流体
究極の誘電冷却剤
ChipChill® RC PFPE冷却液：半導体および電子機器冷却のための高精度熱管理
ChipChill® RCは、最も要求の厳しい電子機器および半導体環境において、精密な温度制御と優れた誘電絶縁性を実現するために設計された、プレミアムな水素フリーPFPE熱伝達流体です。完全フッ素化線状ポリマーであるChipChill® RC PFPE流体は、極めて高い熱安定性と化学的不活性という稀有な組み合わせを実現し、-100℃から300℃を超える温度範囲で液体状態を維持し、効果を発揮します。可燃性や電気的破壊のリスクがある従来の冷却剤とは異なり、ChipChill®は不燃性で高い誘電強度（>25kV）を備え、残留物を一切残さず、絶対的な安全性を確保します。エッチングチャンバー、イオン注入装置、高出力トランスなどを管理するエンジニアにとって、このPFPE熱伝達流体は、稼働時間を最大化し、高コストで繊細な部品を熱ストレスから保護するための最適な選択肢です。
高度分子工学および 材料の完全性
ChipChill® RCの優れた点は、その洗練された分子構造にあります。炭素、フッ素、酸素原子のみで構成されるPFPE（パーフルオロポリエーテル）鎖は、酸化や熱分解に対して本質的に耐性があります。当社独自の合成プロセスにより、超高純度で水素を含まない組成が実現され、これが無毒性かつオゾン層に優しい特性の鍵となっています。
材料適合性に関して言えば、ChipChill® RC PFPE液は産業用機器に対して非常に「優しい」特性を持っています。以下の物質と接触しても、膨潤や劣化は一切見られません。
- 金属：ステンレス鋼、アルミニウム、銅、および特殊合金。
- プラスチック：PTFE、PFA、および高性能エンジニアリングポリマー。
- エラストマー：バイトン、カルレズ、および一般的なフッ素ゴム。
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半導体製造
ウェハ歩留まりのために、正確で再現性の高い温度制御が必須となるエッチング装置（PVD、CVD）およびイオン注入装置向けに最適化されています。
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電気・レーダーシステム
高い絶縁耐力を利用して電気アーク放電を防ぎ、変圧器、電源装置、レーダーアレイに不可欠な冷却機能を提供します。
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医薬品および化学プロセス
低温流動性と耐薬品性が求められる凍結乾燥機や腐食性処理環境において不可欠です。
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原子力産業
その高い放射線安定性により、UF6の製造やその他の高感度な原子力用途において、安全で信頼性の高い媒体となる。
主要業績指標 利点
- 本来の不燃性：引火点や発火点がないため、高温下での運転時における熱暴走や火災のリスクを排除します。
- 超低誘電率：高周波電子機器における信号干渉を最小限に抑えます。
- 極端な温度変化への対応力：RC130からRC260といったグレードは、市販されている他のほとんどのフッ素系潤滑油よりも広い使用範囲に対応できます。
- 環境責任：無毒性、非腐食性であり、環境に安全（オゾン層破壊物質ではない）と分類される。
テクニカル 仕様
| 物件 | 標準値 | |||||
| 学年 | L2-06 | L2-14 | L3-16 | L3-25 | H3-25 | H4-40 |
| 分子量（AMU） | 1,850 | 2,600 | 2,800 | 3,450 | 3,650 | 4,300 |
| 動粘度 (ASTM D445) @ 20℃ (cSt) | 65 | 150 | 163 | 260 | 275 | 463 |
| 粘度指数 (ASTM D2270) | 72 | 98 | 105 | 110 | 118 |
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| 1ポイントあたり（℃） (ASTM D97) | -52 | -45 | -45 | -35 | -35 | -32 |
| 蒸気圧 @ 25℃ (torr) @ 100℃ (torr) | 7x10⁻⁷ 3x10⁻³ | 1x10⁻⁷ 2x10⁻⁴ | 2x10⁻⁶ 2x10⁻⁴ | 5x10⁻⁷ 5x10⁻⁵ |
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| 蒸発熱 200℃ (cal/g) | 11 | 8 | 8 | 7 | 7 | 7 |
| 密度（ASTM D891） 20℃ (g/cm3) | 1.88 | 1.89 | 1.90 | 1.91 | 1.91 | 1.91 |
| 表面張力 （ダイン/cm） | 21 | 22 | 22 | 22 | 20 | 20 |
| 蒸発損失 22時間 @ 149℃ (重量％） * 22時間 @ 120℃ | 4* | 4 | 3.5 | 0.8 | 0.5 |
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| 最終全圧 （トル） | 1.7×10⁻³ | 1.4×10⁻³ | 2.4×10⁻³ | 1.2×10⁻³ |
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| 特定石油消費量 （cm³/時間） | 0.4 | 0.6 | 0.5 | 0.7 |
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| ChipChill® PFPE流体の基本的な特性 | ||
| 物件 | 単位 | 価値観 |
| 25℃における比熱 | カロリー/(g℃) | 0.23 |
| 25℃における熱伝導率 | W/m・℃ | 0.07 |
| 25℃における絶縁耐力 | kV（2.54mmギャップ） | 25歳以上 |
| 誘電損失tanδ（25℃） |
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| 水の溶解度 | ppm（重量） | 15 |